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激光刻蝕技術原理

激光刻蝕的基本原理是將高光束質量的小功率激光束（一般為紫外激光、光纖激光）聚焦成極小光斑，在焦點處形成很高的功率密度，使材料在瞬間汽化蒸發，形成孔、逢、槽。其加工工藝包括激光微納切割、劃片、刻蝕、鉆孔等。

激光刻蝕技術特點

激光刻蝕的特點是利用激光具有的無接觸加工、柔性化程度高、加工速度快、無噪聲、熱影響區小、可聚焦到激光波長級的極小光斑等優越的加工性能，獲得良好的鉆孔、劃片、刻蝕和切割尺寸精度和加工質量，尤其是與某些材料（如聚酰亞胺）相互作用是屬于“光化學作用”的“冷加工”，可獲得無碳化效果，在電子半導體材料加工中應用十分廣泛。

元祿光電激光刻蝕參數表

紫外激光刻蝕技術典型應用

1）薄膜激光刻蝕應用

優點：  

高重復率，高功率 
快速材料去除率 
無化學腐蝕對環境的污染

ITO鍍膜激光刻蝕機是由激光對ITO Glass和ITO Film上的ITO鍍膜實施電極刻蝕加工的精密設備?？稍诓Ａ?、PET基底上ITO鍍膜、多晶膜和其他氧化物薄膜上大范圍內進行各種圖案，各種尺寸的精密、高速刻蝕，加工多種電極。尤其適用于手機觸摸屏的電極刻蝕。

ITO玻璃激光刻蝕

2)太陽能電池激光劃片應用

優點： 

整機結構合理、劃片速度快、精度高、功能全、合項性能指標穩定可靠，故障率低非接觸加工加工成品率高，適用面廣

操作簡單方便，能24小時長期連續工作，節能環保

采用圖形化用戶界面（GUI），友好的人機界面，可實時顯示切割軌跡，操作簡單直觀 

可選配圖像自動識別處理和定位功能

太陽能電池是通過光電效應或者光化學效應直接把光能轉化成電能的裝置。薄膜太陽能電池生產的流程：準備基板（TCO導電玻璃）——玻璃磨邊——玻璃清洗——1064激光劃線——二次清洗——裝夾具升溫預熱——PECVD沉積非晶硅膜——冷卻卸夾具——635激光劃線——PVD磁控濺射AL——635激光劃線——測試——老化——激光清邊——三次清洗——焊電極線——層壓——裝邊框。對薄膜太陽能電池進行激光劃片，熱影響區小，劃線質量優越。無接觸式加工避免刀片加工產生的應力，可以有效提高硅片改片的優等品率，同時對電池片劃線質量也有很大的改善?？蛇x配CCD圖像處理系統，實現特殊規格電池片的精密劃線。

光伏太陽能電池激光刻蝕

3)激光清邊 

優點：

不需使用任何化學藥劑和清洗液，綠色環保 

非接觸式清洗，無機械作用力，無變形，效率高，節省時間 

可達到常規清洗無法達到的清潔度 

還可在不損傷材料表面的情況下有選擇性地清洗材料表面的污染物

激光清邊速度快并且無污染，通過界面友好的專用控制軟件，可完成多路激光同時工作。可用于非晶硅薄膜太陽能電池板周邊鍍膜的刻線絕緣、掃除和清理。

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